9. 扫描电子显微镜（SEM）
五、物理与工艺性能测试
六、综合对比表
| 检测目标 | 推荐方法 | 精度 | 速度 | 成本 | 适用场景 |
|---|
| SiO₂主含量 | 重量法 | ⭐⭐⭐⭐⭐ | 慢 | 低 | 仲裁、高纯砂 |
| XRF | ⭐⭐⭐ | 快 | 中 | 批量初筛 |
| 痕量金属杂质 | ICP-MS | ⭐⭐⭐⭐⭐ | 中 | 高 | 半导体、光伏 |
| ICP-OES | ⭐⭐⭐⭐ | 快 | 中 | 一般工业砂 |
| 放射性元素 | ICP-MS / NAA | ⭐⭐⭐⭐⭐ | 慢 | 高 | 核/芯片级 |
| 羟基含量 | FTIR | ⭐⭐⭐ | 快 | 中 | 光纤、坩埚砂 |
| 粒度分布 | 激光粒度仪 | ⭐⭐⭐⭐ | 快 | 中 | 工业通用 |
| 颗粒形貌 | SEM | ⭐⭐⭐⭐ | 慢 | 高 | 研发、失效分析 |
七、选择建议
普通工业砂（铸造、建材）：XRF + 筛分 + 含泥量测试即可；
光伏/光纤级：必须用 ICP-MS + FTIR + 气泡检测；
科研或争议仲裁：采用 重量法 + ICP-MS + NAA 多方法交叉验证；
现场快速判断：便携式XRF + 白度/磁选初筛（仅作参考）。
总结
没有“最好”的检测方法，只有“最合适”的组合。高纯石英砂的质量验证，必须依赖高灵敏度仪器（如ICP-MS）与规范前处理；而普通用途则可选用经济高效的方法。关键在于：明确检测目的 → 选择匹配标准 → 控制样品污染 → 解读数据逻辑。